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蝶阀，DN 63 至 250 ISO
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真空阀和气体计量系统
为满足真空应用的所有要求，INFICON 提供了一整套真空阀、配件和馈入件。我们的定制加热阀和配件专为半导体制造业的蚀刻排气生产线而设计。INFICON 气体计量控制器通过与 INFICON 真空计的互通实现对压力的控制。
INFICON 元件 100% 通过 1 X10-9 mbar-l-s 以下的泄漏检测。表面加工、焊接和材料规格满足或超出高真空要求。INFICON 阀、配件和馈入件可选择不锈钢或铝质，法兰设计符合国际标准 ISO 2861、ISO 1609 和 ISO 3669。
蝶阀，DN 63 至 250 ISO
角阀和直通阀，DN 10 - 250
角阀和直通阀，DN 200 - 1000
角阀和直通阀，DN 5
气体计量系统
安全阀
排气阀
相关技术信息
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