Inficon





Worldwide


Semiconductor
>    真空阀和气体计量系统    >   Safety Valves   

Products:

> 带有 FabGuard 的射频传感技术
> 检漏仪
> 残余气体分析仪
> 真空元件
> 真空计
> 真空阀和气体计量系统
 
•  All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•  Angle Valves
•  Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•  Angle and Inline Valves, DN 5
•  Ball Valves, DN 10-40
•  Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•  Diaphragm Valves, Manually Actuated
•  Gas Dosing Systems
•  Gas Dosing Valves
•  Pressure Relief Valve
•  Safety Valves
•  Venting Valves
   
> 集成式过程监控
> FabGuard 软件套件



安全阀
真空安全阀 VSM DN16 - DN100
  • 快速关闭高真空隔离阀用于将真空室和前级泵隔离
  • 排气阀用于低真空泵
  • 出现电源故障时立即关闭
  • 仅在进气管中的气体排空后打开

电源故障排气阀 VIM010-A
  • 出现电源故障时自动排空泵、系统或真空室中的气体
Request Further Information from Inficon.
 寻求资料。 我希望获得更多的产品信息， 请按这里.
Request Further Information from Inficon.
 寻求资料。 我希望获得更多的产品信息， 请按这里.

提问？ 请与您当地的代表处联系， 请按这里.

相关技术资料

产品样本和数据表:

   Datasheet - VSM DN 16-DN 100 (siba33e1.pdf)
English

   Operating Manual Saftey Valves, VSM016 040-A (sima32e1.pdf)
English | German

操作及维修手册:

   Instruction Sheet - VSM016 ... 040-AA, Safety Valves, (sima82e1_b.pdf)
English | German

   Operating Manual - VSM016 ... 040-A, Safety Valves, (sina32e1.pdf)
English | German

   Operating Manual Safety Valves, VSM016 ... 040-AA, (sina82e1.pdf)
English | German

Request Further Information from Inficon.
 寻求资料。 我希望获得更多的产品信息， 请按这里.


电话订购
请与您当地的代表处联系。


拍照了吗？ 将您工作现场使用INFICON产品的照片发给我们，我们将寄给您一份很酷的礼品！