真空阀和气体计量系统

Semiconductor

> 真空阀和气体计量系统

Products:

带有 FabGuard 的射频传感技术

检漏仪

残余气体分析仪

真空元件

真空计

真空阀和气体计量系统

•	All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•	Angle Valves
•	Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•	Angle and Inline Valves, DN 5
•	Ball Valves, DN 10-40
•	Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•	Diaphragm Valves, Manually Actuated
•	Gas Dosing Systems
•	Gas Dosing Valves
•	Pressure Relief Valve
•	Safety Valves
•	Venting Valves

集成式过程监控

FabGuard 软件套件

真空阀和气体计量系统

蝶阀，DN 63 至 250 ISO
为满足真空应用的所有要求，INFICON 提供了一整套真空阀、配件和馈入件。我们的定制加热阀和配件专为半导体制造业的蚀刻排气生产线而设计。 INFICON 气体计量控制器通过与 INFICON 真空计的互通实现对压力的控制。

INFICON 元件 100% 通过 1 X10-9 mbar-l-s 以下的泄漏检测。表面加工、焊接和材料规格满足或超出高真空要求。 INFICON 阀、配件和馈入件可选择不锈钢或铝质，法兰设计符合国际标准 ISO 2861、ISO 1609 和 ISO 3669。

角阀和直通阀，DN 16 - 160
角阀和直通阀, DN 5
全金属角阀，DN 16 - 63
隔膜阀，手动
球阀，DN 10-40
蝶阀，DN 63 至 250
气体计量阀
气体计量系统
真空安全阀
泄压阀
排气阀