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Semiconductor
>    진공 밸브 및 가스 주입 시스템    >   Pressure Relief Valve   

Products:

> 누출 검출기
> 잔류 가스 분석기
> 진공 게이지
> 진공 밸브 및 가스 주입 시스템
 
•  All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•  Angle Valves
•  Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•  Angle and Inline Valves, DN 5
•  Ball Valves, DN 10-40
•  Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•  Diaphragm Valves, Manually Actuated
•  Gas Dosing Systems
•  Gas Dosing Valves
•  Pressure Relief Valve
•  Safety Valves
•  Venting Valves
   
> 진공 컴포넌트
> 통합 공정 감시
> FabGuard 통합 소프트웨어
> FabGuard를 이용한 RF 감지 기술



압력 릴리프 밸브 VSA016-X
장점
  • 1.5 bar 이상의 압력으로부터 진공 시스템을 보호합니다.
  • 해제 트리거 지점 1.2 ~ 1.5 bar 절대압력

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Datasheet - VSA016-X (siba35e1.pdf)
English

   Operating Manual - VSA016-X (sina62e1.pdf)
English | German

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