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Semiconductor

Products:


> 누출 검출기
> 잔류 가스 분석기
> 진공 게이지
> 진공 밸브 및 가스 주입 시스템
 
•  All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•  Angle Valves
•  Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•  Angle and Inline Valves, DN 5
•  Ball Valves, DN 10-40
•  Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•  Diaphragm Valves, Manually Actuated
•  Gas Dosing Systems
•  Gas Dosing Valves
•  Pressure Relief Valve
•  Safety Valves
•  Venting Valves
   
> 진공 컴포넌트
> 통합 공정 감시
> FabGuard 통합 소프트웨어
> FabGuard를 이용한 RF 감지 기술



진공 밸브 및 가스 주입 시스템

INFICON은 고객의 모든 진공 응용분야를 위한 완전한 진공 밸브, 부속품 및 피드스루 제품 라인을 공급합니다. 당사의 맞춤 가열 밸브 및 부속품은 반도체 제조의 에칭 배기 라인을 위해 특별히 설계되었습니다. INFICON 가스 주입 컨트롤러는 INFICON 진공 게이지와 통신하여 압력을 제어합니다.

INFICON 부품은 1 X10-9 mbar-l-s 미만에 대한 누출 시험을 100% 마쳤습니다. 표면 마감, 용접 및 재료 사양은 높은 진공 요구사항을 충족하거나 초과합니다. INFICON 밸브, 부속품 및 피드스루는 스테인리스강과 알루미늄으로 만들어지며 당사의 플랜지 설계는 국제 표준 ISO 2861, ISO 1609, ISO 3669를 준수합니다.

앵글 및 인라인 밸브, DN 16 - 160
앵글 및 인라인 밸브, DN 5
완전 금속 앵글 밸브, DN 16 - 63
다이어프램 밸브, 수동식
볼 밸브, DN 10-40
버터플라이 밸브, DN 63 to 250
가스 주입 밸브
가스 주입 시스템
진공 안전 밸브
압력 릴리프 밸브
Venting 밸브

Featured Product





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