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Semiconductor

Products:


> 누출 검출기
> 잔류 가스 분석기
> 진공 게이지
> 진공 밸브 및 가스 주입 시스템
 
•  All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•  Angle Valves
•  Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•  Angle and Inline Valves, DN 5
•  Ball Valves, DN 10-40
•  Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•  Diaphragm Valves, Manually Actuated
•  Gas Dosing Systems
•  Gas Dosing Valves
•  Pressure Relief Valve
•  Safety Valves
•  Venting Valves
   
> 진공 컴포넌트
> 통합 공정 감시
> FabGuard 통합 소프트웨어
> FabGuard를 이용한 RF 감지 기술



가스 주입 밸브

수동 거친 가스 주입 밸브 VDH010-A
  • 진공 챔버 안으로 재현 가능한 가스 흐름 수용

수동 주입 및 차단 밸브 VDH016-X
  • 매우 넓은 제어 범위
  • 최적의 제어 특성
  • 디지털 디스플레이
  • 뛰어난 재현성
  • 통합 차단 밸브
  • 유량 설정 변경 없이 닫기

완전 금속 주입 밸브 및 시스템 VDH040-U / VDE040-U / VCE500
  • 최소 사체적
  • 모세관을 이용한 가스 흐름 경로 제어
  • 200°C의 작동 온도
  • 총 압력 또는 가스 유량 제어
  • VDE40-U 및 VCE500와 연계하여 자동 제어

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Datasheet - VDH010-A (siba25e1.pdf)
English

   Datasheet - VDH016-X (siba26e1.pdf)
English

Operations and Maintenance Manuals:

   Instruction Sheet - VDH040-U (sima03e1.pdf)
English | German

   Operating Manual - VDH010-A (sina68e1.pdf)
English | German

   Operating Manual - VDH016-X (sina64e1.pdf)
English | German

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