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Semiconductor
>    진공 밸브 및 가스 주입 시스템    >   All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63   

Products:

> 누출 검출기
> 잔류 가스 분석기
> 진공 게이지
> 진공 밸브 및 가스 주입 시스템
 
•  All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•  Angle Valves
•  Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•  Angle and Inline Valves, DN 5
•  Ball Valves, DN 10-40
•  Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•  Diaphragm Valves, Manually Actuated
•  Gas Dosing Systems
•  Gas Dosing Valves
•  Pressure Relief Valve
•  Safety Valves
•  Venting Valves
   
> 진공 컴포넌트
> 통합 공정 감시
> FabGuard 통합 소프트웨어
> FabGuard를 이용한 RF 감지 기술



완전 금속 앵글 밸브 DN 16 - 63
표준
  • UHV 및 HV 응용분야용
  • 개방 및 폐쇄 위치에서 최대 180°C까지 구울 수 있음
  • FPM으로 밀봉됨
  • 정비가 필요 없음

완전 금속
  • UHV 응용분야용
  • 개방 및 폐쇄 위치에서 최대 300°C까지 구울 수 있음
  • 구리로 밀봉됨
  • 정비가 필요 없음

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Datasheet - VAH DN16-63 CF-R (siba18e1_b.pdf)
English

   Instruction Sheet - VAH016-U, VAH040-U, VAH063-U (sima01e1-a.pdf)
English | German

   Instruction Sheet - VAH016-Z, VAH040-Z, VAH063-Z (sima02e1.pdf)
English | German

   Operating Manual - VAH016-U, VAH040-U, VAH063-U (sina01e1-a.pdf)
English | German

   Operating Manual - VAH016-z, VAH040-Z, VAH063-Z (sina02e1.pdf)
English | German

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