|
|
Vacuum Valves and Gas Dosing Systems
 | | Click on the above image to view our complete Vacuum Control catalog. |
| |
真空バルブおよびガスドージングシステム
インフィコンは、すべてのお客様の真空アプリケーションに適した、真空バルブ、継手、およびフィードスルーをフルラインで提供いたします。当社独自の加熱バルブおよび継手は、半導体製造におけるエッチング排気ライン用に特別設計された製品です。インフィコンのガスドージングコントローラは、インフィコン製真空計との通信により圧力をコントロールします。
インフィコンのコンポーネントは、1 x 10-9mbar l/s未満のリークテストが100％実施されています。また表面仕上げ、溶接、および材料仕様は、高真空における必要条件を十分に満たしています。インフィコンの、バルブ、継手、およびフィードスルーは、ステンレス製およびアルミニウム製が用意されており、フランジは、国際規格であるISO 2861、ISO 1609、ISO 3669に準拠しています。
バタフライバルブ、DN 63～250 ISO
アングルおよびインラインバルブ、DN 10～250
アングルおよびインラインバルブ、DN 200～1000
アングルおよびインラインバルブ、DN 5
ガスドージングシステム
安全バルブ
ベントバルブ
|
|
