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Products:


> リーク感知機
> 残留ガス分析器
> 真空バルブとガス注入システム
 
•  All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•  Angle Valves
•  Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•  Angle and Inline Valves, DN 5
•  Ball Valves, DN 10-40
•  Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•  Diaphragm Valves, Manually Actuated
•  Gas Dosing Systems
•  Gas Dosing Valves
•  Pressure Relief Valve
•  Safety Valves
•  Venting Valves
   
> 真空計
> 真空部品
> 統合プロセス監視
> FabGuaradソフトウェア適応
> FabGuardでRFセンシングテクノロジー



オールメタルアングルバルブ、DN 16 - 63
標準
  • UHVとHV作業に
  • 180度 まで開閉ポジションでベーク可能
  • FPMシール
  • メンテナンス不要

オールメタル
  • UHV作業に
  • 300度 まで開閉ポジションでベーク可能
  • 銅シール
  • メンテナンス不要

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Datasheet - VAH DN16-63 CF-R (siba18e1_b.pdf)
English

   Instruction Sheet - VAH016-U, VAH040-U, VAH063-U (sima01e1-a.pdf)
English | German

   Instruction Sheet - VAH016-Z, VAH040-Z, VAH063-Z (sima02e1.pdf)
English | German

   Operating Manual - VAH016-U, VAH040-U, VAH063-U (sina01e1-a.pdf)
English | German

   Operating Manual - VAH016-z, VAH040-Z, VAH063-Z (sina02e1.pdf)
English | German

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