真空バルブとガス注入システム

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Products:

リーク感知機

残留ガス分析器

真空バルブとガス注入システム

•	All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•	Angle Valves
•	Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•	Angle and Inline Valves, DN 5
•	Ball Valves, DN 10-40
•	Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•	Diaphragm Valves, Manually Actuated
•	Gas Dosing Systems
•	Gas Dosing Valves
•	Pressure Relief Valve
•	Safety Valves
•	Venting Valves

真空計

真空部品

統合プロセス監視

FabGuaradソフトウェア適応

真空バルブとガス注入システム

INFICONは真空バルブ、継手、フィードスルーをあなたの真空作業に合うように全ラインで揃えています。カスタムの加熱バルブと継手は半導体製造のエッチング消耗ライン用に特別にデザインされています。INFICONのガス注入コントローラーはINFICONの真空計とコミュニケーションをとりながら、圧力をコントロールします。

INFICONの部品は1 X10-9 mbar-l-s以下まで100％リークテスト済みです。表面仕上げ、溶接そして材料の仕様は高い真空の要求条件に合う、またはそれを越えるものです。INFICONのバルブ、継手、フィードスルーはステンレススチール製とアルミ製があり、当社のフランジは国際水準ISO2861、ISO1609、そしてISO3669を満たすようデザインされています。

アングル/ストレートバルブ、 DN 16 - 160
アングル/ストレートバルブ、 DN 5
オールメタルアングルバルブ、 DN 16 - 63
ダイアフラムバルブ、手動式
ボールバルブ, DN 10-40
バタフライバルブ、 DN 63 to 250
ガス注入バルブ
ガス注入システム
真空安全バルブ
圧力除去バルブ
ベントバルブ