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Semiconductor

Products:


> リーク感知機
> 残留ガス分析器
> 真空バルブとガス注入システム
 
•  All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•  Angle Valves
•  Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•  Angle and Inline Valves, DN 5
•  Ball Valves, DN 10-40
•  Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•  Diaphragm Valves, Manually Actuated
•  Gas Dosing Systems
•  Gas Dosing Valves
•  Pressure Relief Valve
•  Safety Valves
•  Venting Valves
   
> 真空計
> 真空部品
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> FabGuaradソフトウェア適応
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ガス注入バルブ

手動式粗ガス注入バルブVDH010-A
  • 真空チャンバー内に再生ガス流入を許可

手動式注入/遮断バルブVDH016-X
  • 非常に広いコントロール範囲
  • 最高のコントロール特性
  • デジタルディスプレー
  • 優れた再生産性
  • 統合遮断バルブ
  • 流入設定の変更なしに閉じられる

オールメタル注入バルブとシステムVDH040-U / VDE040-U / VCE500
  • 最小の死空間
  • 細管を使用してガスフローのルートをコントロール
  • 摂氏200度で作動
  • トータルの圧力またはガスフローをコントロール
  • VDE40-U とVCE500を結合して自動コントロール

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Datasheet - VDH010-A (siba25e1.pdf)
English

   Datasheet - VDH016-X (siba26e1.pdf)
English

Operations and Maintenance Manuals:

   Instruction Sheet - VDH040-U (sima03e1.pdf)
English | German

   Operating Manual - VDH010-A (sina68e1.pdf)
English | German

   Operating Manual - VDH016-X (sina64e1.pdf)
English | German

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