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Semiconductor

Products:


> FabGuard Software-Suite
> Integrierte Prozessüberwachung
> Leckdetektoren
> RF Sensing Technology mit FabGuard
> Restgasanalysatoren
> Vakuumkomponenten
> Vakuummeter
> Vakuumventile und Gasdosierungssysteme
 
•  All-Metal Angle Valves, DN 16 - 63
•  Angle Valves
•  Angle and Inline Valves, DN 16 - 160
•  Angle and Inline Valves, DN 5
•  Ball Valves, DN 10-40
•  Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO
•  Diaphragm Valves, Manually Actuated
•  Gas Dosing Systems
•  Gas Dosing Valves
•  Pressure Relief Valve
•  Safety Valves
•  Venting Valves
   



Gasdosierungsventile

Manuell betätigtes Grobgasdosierungsventil VDH010-A
  • Zum Zuführen eines reproduzierbaren Gasflusses in eine Vakuumkammer

Manuell betätigtes Dosierungs- und Sperrventil VDH016-X
  • Breit angelegter Steuerungsbereich
  • Optimale Steuerungseigenschaften
  • Digitalanzeige
  • Hervorragende Reproduzierbarkeit
  • Integriertes Sperrventil
  • Keine Änderung der Flusseinstellung beim Schließen

Dosierungsventile und -systeme aus Ganzmetall VDH040-U / VDE040-U / VCE500
  • Minimales Totvolumen
  • Kontrollierte Leitung des Gasflusses mithilfe von Kapillaren
  • Betriebstemperatur 200 °C
  • Steuerung des Gesamtdrucks oder Gasflusses
  • Automatische Steuerung in Verbindung mit VDE40-U und VCE500

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Datasheet - VDH010-A (siba25e1.pdf)
English

   Datasheet - VDH016-X (siba26e1.pdf)
English

Operations and Maintenance Manuals:

   Instruction Sheet - VDH040-U (sima03e1.pdf)
English | German

   Operating Manual - VDH010-A (sina68e1.pdf)
English | German

   Operating Manual - VDH016-X (sina64e1.pdf)
English | German

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